客服電話:021-5835-7237 173-2132-1081 180-1647-9018
產品介紹:
GSL-1100X-SPC12H是一款緊湊型加熱等離子薄膜濺射儀,專門設計為基地鍍上金屬膜,如金,鉑,銦和銀等。最大可放置樣品尺寸直徑為40mm,膜厚可達300埃,特別適用于為SEM樣品鍍上金而作為導電極。此款等離子薄膜濺射儀上自帶了所必要的配件,可立即使用,包含一個濺射靶材,真空泵,不銹鋼波紋管和快速卸裝卡箍。
輸入電源 |
208V - 240V, 50/60 Hz, < 3000W |
樣品室 |
石英腔體尺寸, 100 mm Dia. x 130mm H 帶有不銹鋼法蘭
|
襯底加熱器 |
載樣臺的尺寸為60 mm,可加熱到600度 一個30段可編程溫度控制器,控溫精度±1oC 推薦升溫速率:15°C/m 樣品臺的高度可以調節 樣品臺 溫控盒后視圖 |
真空配置
|
每個配件包含在內,可立即使用 儀器中配有一臺2L/S雙旋片機械泵,出氣口安裝有立式油污過濾器,過濾真空泵工作時產生的油煙,和減少泵油的損耗,保護環境和人體健康。 高純度金箔靶
|
進氣口 |
有一不銹鋼針閥安裝在儀器上,可以通入氬氣,能實現更好的等離子涂層 |
靶材 |
靶材標配 靶材包含:4N purity Gold foil: 57 mm dia. x 0.12 mm 可選靶材 |
外形尺寸 |
L480mmx W320mm x H150mm |
凈重 | 20 kg |
質保期 | 一年質保期,終身維護 |