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科晶GSL-3F產(chǎn)品介紹：
這種氣路控制系統(tǒng)適用于控制一種到三種氣體的通入，管式爐可以放在它上面，結(jié)合科晶集團(tuán)的管式爐，它可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐，用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。
GSL-3F適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體切換使用，而不會(huì)造成大氣進(jìn)入加熱管。
氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實(shí)用，操作簡便。
顯示流量準(zhǔn)確，可有效控制氣體消耗量。
| 序號 | 品名 | 型號 | 數(shù)量 |
| 1 | 截止閥 | 160p | 4只 |
| 2 | 浮子流量計(jì) | 10-100ml/min | 1只 |
| 16-160ml/min | 1只 | ||
| 25-250ml/min | 1只 | ||
| 3 | 混氣罐 | ф80×140mm | 1個(gè) |
| 4 | 壓力真空表 | (ф60)-0.1∽0.15Mpa | 1塊 |
