等離子發射源

輸出功率：5 -500W    ± 1% .     

射頻頻率：13.56 MHz    ±0.005% . 

反射功率： 最大 200W  

匹配： 自動 

射頻接口：50 Ω, N-type

噪音：<50 dB.   

冷卻：風冷.

電源：AC 208-240V, 50/60Hz

無油真空泵機組

Pfeiffer（德國）高速( 226L/min) 無油干泵, 極限真空10E-3 Torr L

KFD25 快接，不銹鋼波紋管，手動擋板閥與法蘭，真空泵相連

管內真空可達10E-2 Torr 

數字真空計 ( 美國) 安裝在左法蘭上. 

可選法蘭：本公司生產的帶鉸鏈式法蘭

本公司進口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。

質量流量計

四個精密的質量流量計(精度0.02% ) ：數字顯示，自動控制.

MFC 1范圍:  0~100 sccm 

MFC 2和3:    0~200 sccm  

MFC 4范圍:   0~500 sccm 

一個混氣罐，底部裝有泄廢液口. 

一個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側，可手動控制4種氣體.

進氣口: 4個1/4NPS.

出氣口: 4個 1/4NPS.

控溫軟件

計算機可以通過控溫軟件控制爐子：RS485 接口和軟件是免費的，但需要購買數據線和一個控制模塊

為了獲得較大的升溫速度, 必須預熱到設定溫度，然后將爐子滑到樣品位置。

為了獲得較快的降溫速度,可將加熱的爐子從熱區滑到冷區.

升溫速率：

15°C/sec (RT - 150°C);10°C/sec (150°C - 250°C);7°C/sec (250°C - 350°C);4°C/sec (350°C - 500°C);3°C/sec (350°C - 550°C);2°C/sec (550°C - 650°C);1°C/sec (650°C - 800°C);0.5°C/sec (800°C - 1000°C);

冷卻速率：

15°C/sec (1000 - 950°C);10°C/sec (950°C - 900°C);7°C/sec (900°C - 850°C);4°C/sec (850°C - 750°C);2°C/sec (750°C --600°C);1.5°C/sec (600°C - 500°C);1°C/sec (500°C - 400°C);0.5°C/sec (400°C - 300°C);

水循環冷卻器

水冷法蘭要求：水流量 >= 10L/M . 可以用自來水進行水冷,

為了節約水資源，我們建議使用水循環冷卻器。

爐體: 550 x 380 x 520  mm  

滑軌:   1750 mm 長 

移動架: 1200 x 1200 x 600mm.  

凈重: 220 Lbs. 

運輸重量: 500lbs.