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產品介紹:
OTF-1200X-5-III-D4 是一款三溫區的雙管爐,其最高工作溫度可以達到1200℃,專門針對于用CVD方法在金屬箔上生長薄膜物質,如石墨烯、太陽能電池的電極材料和電池電極材料等。
特征:
石英爐管: 外管直徑為 130 mm,內管直徑為101mm,使用時把金屬箔附在內管壁上特殊的真空法蘭可以使反應氣體通過兩管之間冷卻氣體可以從內管通過,對基底進行快速冷卻最高工作溫度: 1200°C
爐體結構:
三個加熱溫區總長: 900mm(36")溫區 1: 229mm (9")溫區2: 457mm (18.0")溫區3: 229 mm (9")恒溫區:625mm(三個溫區設置同樣的溫度) 注:由于測量手段及外部環境的影響,測量結果可能會有偏差,此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區數據,請與我公司銷售人員聯系 恒溫精度: +/- 1°C 三個溫區采用PID30段程序化獨立控制
爐膛:
內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命
控溫精度: +/- 1° C
最高工作溫度:1200℃
連續使用溫度:1100℃
推薦升溫速率: <= 20°C /min
電源:AC 208-240V 單相, 50/60 Hz (需要40A 的空氣開關 ).
最大功率:7 KW
爐管:爐管為高純石英管
外管尺寸:130mm O.D. x 122 mm I.D. x 1480 mm
內管尺寸: 102mm O.D. x 94 mm I.D. x 1540 mm
爐體尺寸:030 x 430 x 580 mm
凈重:90 kg
質保期和質量認證:一年質保期(不包含爐管,加熱元件和密封圈損耗件)
使用注意事項:
爐管內氣壓不可高于0.02MPa由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊石英管的長時間使用溫度<1100℃對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)